CIAT是專注于工業(yè)精密傳動與智能定位系統(tǒng)的德國技術(shù)企業(yè),成立于1978年,總部位于慕尼黑,致力于為半導(dǎo)體制造、航空航天及高端機床領(lǐng)域提供高精度直線電機、納米級定位平臺及定制化解決方案。產(chǎn)品以亞微米級定位精度、抗干擾能力與工業(yè)級壽命為核心優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于晶圓光刻機定位、航天器姿態(tài)校準(zhǔn)及精密光學(xué)檢測設(shè)備場景。
核心產(chǎn)品系列:
工業(yè)精密傳動系統(tǒng)
- CIAT-Linear系列直線電機:適配半導(dǎo)體晶圓傳輸與激光切割設(shè)備,推力范圍50-2000 N,定位精度±50 nm,重復(fù)定位精度±20 nm,支持閉環(huán)控制與動態(tài)補償,通過ISO 230-2機床精度標(biāo)準(zhǔn),防護(hù)等級IP65。
- CIAT-Rotary系列空心杯電機:用于光學(xué)儀器旋轉(zhuǎn)臺與醫(yī)療設(shè)備驅(qū)動,轉(zhuǎn)速0-5000 RPM,扭矩波動≤0.1%,慣性矩優(yōu)化設(shè)計,通過MIL-STD-810G振動測試,支持真空環(huán)境(10^-6 Torr)運行。
智能定位解決方案
- CIAT-Stage系列納米定位平臺:集成六自由度運動控制,行程范圍50-500 mm,定位分辨率0.1 nm,熱漂移率≤0.1 μm/°C,配備激光干涉儀實時反饋,通過SEMATECH半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證。
- CIAT-Controller系列運動控制卡:支持多軸同步插補與自適應(yīng)PID算法,采樣頻率1 MHz,兼容EtherCAT/PROFINET協(xié)議,通過CE/FCC電磁兼容認(rèn)證,提供LabVIEW/Python開發(fā)接口。
熱銷工業(yè)型號:
- CIAT-Linear L8000:晶圓光刻機曝光臺驅(qū)動電機,峰值加速度20g,動態(tài)響應(yīng)時間≤1 ms,內(nèi)置溫度補償模塊,通過SEMI S2標(biāo)準(zhǔn),防護(hù)等級IP67。
- CIAT-Stage NS600:航天器光學(xué)組件校準(zhǔn)平臺,三維定位精度±100 nm,支持主動隔振(降噪≥60 dB),通過NASA Goddard振動測試,配備真空兼容密封結(jié)構(gòu)。
- CIAT-Controller C400:多軸納米級運動控制器,支持16軸同步控制,插補誤差≤0.1 μm,配備硬件級緊急制動功能,通過ISO 13849安全標(biāo)準(zhǔn)。
技術(shù)優(yōu)勢:
- 超低慣性設(shè)計:直線電機采用輕量化磁路結(jié)構(gòu),慣性降低40%,加速性能提升30%。
- 多物理場耦合補償:定位平臺內(nèi)置熱-機械耦合模型,環(huán)境溫度變化補償精度達(dá)±0.01 μm。
- 協(xié)議無縫集成:控制器支持OPC UA與MTConnect工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)協(xié)議,可對接MES/SCADA系統(tǒng)。
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 半導(dǎo)體制造:晶圓缺陷檢測設(shè)備定位、光刻機曝光臺驅(qū)動。
- 航空航天:衛(wèi)星光學(xué)鏡頭校準(zhǔn)、火箭發(fā)動機噴嘴精密裝配。
- 精密檢測:納米級3D形貌測量儀、X射線衍射儀樣品臺。
CIAT通過德普瑞商城提供全球化供應(yīng)鏈服務(wù),支持在線技術(shù)選型、定制化傳動系統(tǒng)設(shè)計及48小時緊急交付,確保工業(yè)客戶在高精度運動控制場景中快速部署納米級定位與智能傳動解決方案。